氧化锆（ZrO₂）单晶基片是很早被开发应用的高温超导基片之一。由于ZrO₂单晶需掺入钇（Y）以稳定其结构， 一般实际使用的是YSZ单晶――加入钇稳定剂的氧化锆单晶。它机械、化学稳定性好，价格较低，特别适于用在试验性薄膜制备工作中。氧化锆也是制作双晶基片（用于高温超导结构技术）的良好材料。